根據(jù)長三角物理研究中心（以下簡稱“本公司”）研發(fā)、生產(chǎn)、經(jīng)營需要，本公司現(xiàn)面向全社會發(fā)布“量產(chǎn)型PECVD芯片生產(chǎn)設備”科學家工作室項目（以下簡稱“項目”）并征集申報，詳細信息如下。
一、項目目標及研究內(nèi)容
項目總體目標是研發(fā)8英吋、12英吋PECVD工藝系統(tǒng)，以滿足日益嚴峻的國際壟斷局勢，及國內(nèi)中高端設備技術(shù)空白。以及創(chuàng)立在本領域具有自主知識產(chǎn)權(quán)的量產(chǎn)型PECVD設備。
1、設備性能目標是：
（一）設備稼動率＞ 90%，無故障工作時間＞ 250小時；
（二）沉積溫度≥400℃ ;沉積速率優(yōu)于1700? / min；
（三）技術(shù)成熟度實現(xiàn)TRL6；
2、需要解決的關(guān)鍵技術(shù)問題包括：
（一）PECVD機械結(jié)構(gòu)設計：包含載片盒、機械手等，腔體具有多工位且可旋轉(zhuǎn)，要有冷卻腔體。
（二）工藝氣體噴淋頭設計及氣場分布研究：涉及表面處理工藝、及流體力學CFD軟件仿真模擬研究。
（三）加熱基座設計，及溫度控制系統(tǒng)研究。
（四）RF電源系統(tǒng)設計，及分布系統(tǒng)研究。
（五）工藝特種氣體管道設計，及氣場研究。
（六）PECVD工控軟件自動化系統(tǒng)研究，要具有實時控制能力。
（七）真空壓力控制系統(tǒng)設計。
（八）研究單體及模塊的創(chuàng)新設計、并以此建立成本估算模型與降低方法、壽命預測與加速老化測試方法以及多尺度理論模擬與先進分析方法。
以上作為項目結(jié)題驗收指標，未達到的不能通過結(jié)題驗收。
二、項目申報要求
（一）項目應由申報單位作為申報主體。申報單位應是在中華人民共和國境內(nèi)注冊、具有獨立法人資格的企業(yè)或事業(yè)單位，具備較強的科研能力和良好的學術(shù)誠信記錄，無其他資格限 制。
（二）申報單位須指定項目負責人一名，在項目執(zhí)行期內(nèi)每年來本公司現(xiàn)場工作時間不少于三個月。項目負責人必須是申報單位正式職工，一般應具有高 級職稱。除項目負責人外，其他項目參加人員在項目執(zhí)行期內(nèi)應全時在本公司開展研發(fā)活動。
（三）申報單位填寫《項目計劃書》（附件），于2022年2月25日17：30前發(fā)送電子版pdf文件至zhangxiaotian@ioply.cn。計劃書文件及電子郵件標題應命名為：量產(chǎn)型PECVD芯片生產(chǎn)設備項目計劃書——申報單位全稱。
（四）項目經(jīng)評審通過后，申報單位打印計劃書紙質(zhì)版一式三份，簽字并加蓋公章后郵寄至：江蘇省常州市溧陽市中關(guān)村大道1號，長三角物理研究中心，科技投資部收。
（五）多個單位可以聯(lián)合申報，但應指定一家牽頭申報單位。同一個單位可以組織多個團隊競爭申報。
三、項目周期和支持條件
（一）項目為期三年，自2022年4月1日至2025年3月31日。
（二）本公司提供的項目經(jīng)費不超過人民幣30萬元（叁拾萬元），由申報單位編制預算，本公司批準后執(zhí)行，在本公司開支。經(jīng)費包括以下內(nèi)容：
設備費：是指在項目實施過程中購置或試制專用儀器設備，對現(xiàn)有儀器設備進行升級改造，以及租賃外單位儀器設備而發(fā)生的費用。計算類儀器設備和軟件工具可在設備費科目列支。
業(yè)務費：是指在項目實施過程中消耗的各種材料、輔助材料等低值易耗品的采購、運輸、裝卸、整理等費用，發(fā)生的測試化驗加工、燃料動力、出版/文獻/信息傳播/知識產(chǎn)權(quán)事務、會議/差旅/國際合作交流等費用，以及其他相關(guān)支出。
勞務費：是指在項目實施過程中支付給參與項目的研究生、博士后、訪問學者和項目聘用的研究人員、科研輔助人員等的勞務性費用，以及支付給臨時聘請的咨詢專家的費用等。
實驗室改造費：是指對本公司提供的實驗室基礎建設、裝修以及根據(jù)項目需要進行改造工程的費用。
場地使用費：根據(jù)經(jīng)申報單位申請，本公司審批后提供的實驗室和辦公室總面積計算，標準為55元/月/平方米。
（三）實驗和辦公場地，由申報單位書面申請，本公司批復后劃撥。實驗室、辦公室需要再次裝修改造的，經(jīng)本公司批準后，由項目負責人負責在本公司各項管理規(guī)定框架內(nèi)組織實施。
（四）本公司提供日常行政、人事、財務、科研管理等方面的支持。
（五）申報單位項目團隊各成員在項目執(zhí)行期間申報其他科研項目，無論何種資金來源性質(zhì)，若申報的該等科研項目研究任務與本項目研發(fā)目標相關(guān)的，項目依托單位應為本公司，獲批科研經(jīng)費應撥付至本公司使用。
四、知識產(chǎn)權(quán)和收益分配
（一）申報單位應在計劃書中如實、全 面地填寫在本項目立項至計劃書出具日已經(jīng)獲得的，可能涉及項目研究及其未來產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化的背景知識產(chǎn)權(quán)清單。
（二）本項目框架下新產(chǎn)生的全部知識產(chǎn)權(quán)（包括但不限于申請專利的權(quán)利、專利申請權(quán)、專利權(quán)、版權(quán)、商業(yè)秘密等，下稱“前景知識產(chǎn)權(quán)”），除本公告第六條另有規(guī)定的外，均由本公司和申報單位雙方共有。其中本公司占比90%，申報單位占比10%。
（三）基于本項目而形成的任何成果，本公司有權(quán)單獨決定是否發(fā)表論文以及相關(guān)成果（包括但不限于知識產(chǎn)權(quán)、技術(shù)秘密等）的轉(zhuǎn)讓、許可、披露、公開、申請登記或注冊、將相關(guān)技術(shù)進行產(chǎn)業(yè)化等處置方式等。
（四）申報單位和項目團隊成員未經(jīng)本公司事先書面同意，不得通過任何形式將前景知識產(chǎn)權(quán)轉(zhuǎn)讓、許可、透露給任何第三方或用于其他與項目內(nèi)容無關(guān)的目的。
（五）申報單位和項目團隊成員承諾并保證，在本項目中提供的全部背景知識產(chǎn)權(quán)不會侵犯任何第三方的知識產(chǎn)權(quán)或其他權(quán)益。
五、保密條款
（一）申報單位及項目團隊成員應對所獲知的項目及本公司的保密信息，包括但不限于背景知識產(chǎn)權(quán)、技術(shù)信息、經(jīng)營信息、客戶名單、公式、圖表、繪圖、技術(shù)數(shù)據(jù)，實驗報告、設計、材料、設備、樣本和其他任何形式的資料或信息及合作項目本身等均承擔保密義務。
（二）申報單位必須與涉及該項目的全部人員簽訂保密合同，保證其對所接觸的保密信息承擔保密義務，且保密期限不少于本項目結(jié)束后或該等人員離職后三年。
六、項目的提前終止和延續(xù)
（一）項目團隊每半年接受一次本公司組織的考核，被認定有以下情況的，本公司有權(quán)單方面終止項目：
1.連續(xù)兩個季度未完成規(guī)定的季度任務目標，或在某一季度嚴重未完成季度目標的；
2.研究方向和內(nèi)容嚴重偏離項目計劃書的；
3.由于市場行情、競爭對手等方面發(fā)生變化與預期不符，項目產(chǎn)業(yè)化盈利前景較差的；
4.發(fā)生學術(shù)誠信問題或個人經(jīng)濟問題的；
5.多次違反本公司規(guī)章制度，屢教不改的。
其中第4、5項屬于工作室團隊成員個人問題的，也可以僅對個人做退出項目處理并追究法律責任。
（二）由于申報單位政策運行發(fā)生變化、項目團隊成員個人原因等，無法繼續(xù)按原計劃開展項目，申報單位可向本公司提出書面申請終止項目。
（三）本公司不按約定提供研究經(jīng)費和場地，拖延超過一個季度的，申報單位可終止項目。
（四）由于出現(xiàn)自然災害、國家法令變化等不可抗力事件導致項目無法繼續(xù)的，遇有不可抗力事件的一方，應在10日內(nèi)將事件情況以書面形式通知對方。如不可抗力無法消除，致使項目無法進行的，則本公司及申報單位均有權(quán)終止項目。
（五）項目由于各方均認可的合理因素無法按期完成的，申報單位可在到期前至少2個月向本公司書面申請延期，經(jīng)批準后延長期限。但延長期間的經(jīng)費預算應另行申報（如需），經(jīng)本公司批準后撥付。
（六）項目能夠按期較好地完成，且有良好的后續(xù)發(fā)展前景的，各方可友好協(xié)商決定延續(xù)項目進行深入開發(fā)。
（七）本公司依據(jù)本條第（一）款第1、2、4、5項或第（二）款之規(guī)定終止項目，申報單位應做出以下補償之一（采取何種補償方式由本公司確定）：
（1）在本項目框架下新產(chǎn)生的全部知識產(chǎn)權(quán)（包括但不限于申請專利的權(quán)利、專利申請權(quán)、專利權(quán)、版權(quán)、商業(yè)秘密等）歸本公司所有；
（2）支付本公司為項目實際支出的科研經(jīng)費和相應管理運行成本，其中管理運行成本按照科研經(jīng)費的20%計算。
（八）申報單位依據(jù)本條第（三）款之規(guī)定終止項目，本公司放棄主張本項目產(chǎn)出的一切知識產(chǎn)權(quán)極其附屬權(quán)益。